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藍光LED光子晶體技術原理及制程詳解
摘要: 為回避日亞化學的藍光LED加螢光粉制技術專利,各業者紛紛投入其它能達到散發出白光的LED技術,目前最被期待的技術是利用UVLED來達到白光的目的,但是,UVLED仍舊有著光外漏及低亮度兩個不易克服的困難。
Abstract:
Key words :

  為回避日亞化學的藍光LED 加螢光粉制技術專利,各業者紛紛投入其它能達到散發出白光的LED 技術,目前最被期待的技術是利用UV LED 來達到白光的目的,但是,UV LED 仍舊有著光外漏及低亮度兩個不易克服的困難。使得除了繼續努力來解決相關的問題外,不得不再去尋求其它的材料或技術來達到散發出白光的LED 技術。

  在1987 年,國籍相異且分居不同地點的兩位學者,Eli Yablonovitch 與Sajeev John 幾乎同一時間在理論上發現,電磁波在周期性介電質中的傳播狀態具有頻帶結構,利用兩種以上不同折射率(或介電常數)材料做周期性變化來達成光子能帶的物質。所以光子晶體" title="光子晶體">光子晶體(PhotonicCrystal)被發現已將近20 年后的今天,在各領域的應用有著相當令人激賞的表現,一直是備受研發者所關心的一項技術。

  目前利用二次元光子晶體來達到完成白光LED" title="白光LED">白光LED 的技術,已陸續出現突破性的發展,使得未來Photonic Crystal LED 已成為眾所矚目的焦點與擺脫日亞化學專利的期望寄托。

  1、光子晶體特性與結構

  光子晶體隨著波長不同,會出現于周期性的結構,可以分別發展出一次元、二次元及三次元的光子晶體。而在這些結構當中,最出名的應該是屬于三次元的光子晶體結構,但是,三次元的光子晶體在制造上及商品化,就今天的技術而言是非常困難的。原因是目前主要研究的領域還是保留在二次元的光子晶體,所以,今天在LED 領域各業者相競開發的光子晶體LED,也是二次元的光子晶體。

  一般的材料構造是屬于固定構造,所以材料本身會具有的一定的折射率。波數(Wave Number)與頻率對于一般材料折射率的影響,橫軸是物質的波數(Wave Number)、縱軸是頻率、斜線就代表折射率。折射率是非常等比例的成長,也就是代表說不管什么樣的波數、什么樣的波長,它的折射率都是一定的。那么光子晶體是什么樣的結構,再從另外一個角度來說明。光子晶體的特性就是周期構造,也因此會產生多重反射。

  光子晶體所構成的波數矢量數和光的頻率比例,頻率的曲線不是那么單純,曲線已經會變得非常復雜,這個曲線會隨著光的多方向性,就是異向性而出現變化,而隨著它的偏光性,就可以運用來設計出不同的產品。光子晶體它有一個很出名的特性,相信大家都知道,就是它有一個光能隙。在光能隙這個區域里面,光線是不存在的。這邊的曲線也跟圖一A 是的斜率意義是一樣的,是折射率的相反。只要在這一點,斜率等于零。所以在這一點以外,光的速度就不會產生零這個現象。所以也可以說,光子晶體也可以控制光的速度。

  就簡單來說,運用光子晶體的目的濃縮成一句話,就是要利用周期構造,以人工的方式來控制這個光學特性。

  為回避日亞化學的藍光LED 加螢光粉制技術專利,各業者紛紛投入其它能達到散發出白光的LED 技術,目前最被期待的技術是利用UV LED 來達到白光的目的,但是,UV LED 仍舊有著光外漏及低亮度兩個不易克服的困難。使得除了繼續努力來解決相關的問題外,不得不再去尋求其它的材料或技術來達到散發出白光的LED 技術。

  在1987 年,國籍相異且分居不同地點的兩位學者,Eli Yablonovitch 與Sajeev John 幾乎同一時間在理論上發現,電磁波在周期性介電質中的傳播狀態具有頻帶結構,利用兩種以上不同折射率(或介電常數)材料做周期性變化來達成光子能帶的物質。所以光子晶體(PhotonicCrystal)被發現已將近20 年后的今天,在各領域的應用有著相當令人激賞的表現,一直是備受研發者所關心的一項技術。

  目前利用二次元光子晶體來達到完成白光LED 的技術,已陸續出現突破性的發展,使得未來Photonic Crystal LED 已成為眾所矚目的焦點與擺脫日亞化學專利的期望寄托。

  1、光子晶體特性與結構

  光子晶體隨著波長不同,會出現于周期性的結構,可以分別發展出一次元、二次元及三次元的光子晶體。而在這些結構當中,最出名的應該是屬于三次元的光子晶體結構,但是,三次元的光子晶體在制造上及商品化,就今天的技術而言是非常困難的。原因是目前主要研究的領域還是保留在二次元的光子晶體,所以,今天在LED 領域各業者相競開發的光子晶體LED,也是二次元的光子晶體。

  一般的材料構造是屬于固定構造,所以材料本身會具有的一定的折射率。波數(Wave Number)與頻率對于一般材料折射率的影響,橫軸是物質的波數(Wave Number)、縱軸是頻率、斜線就代表折射率。折射率是非常等比例的成長,也就是代表說不管什么樣的波數、什么樣的波長,它的折射率都是一定的。那么光子晶體是什么樣的結構,再從另外一個角度來說明。光子晶體的特性就是周期構造,也因此會產生多重反射。

  光子晶體所構成的波數矢量數和光的頻率比例,頻率的曲線不是那么單純,曲線已經會變得非常復雜,這個曲線會隨著光的多方向性,就是異向性而出現變化,而隨著它的偏光性,就可以運用來設計出不同的產品。光子晶體它有一個很出名的特性,相信大家都知道,就是它有一個光能隙。在光能隙這個區域里面,光線是不存在的。這邊的曲線也跟圖一A 是的斜率意義是一樣的,是折射率的相反。只要在這一點,斜率等于零。所以在這一點以外,光的速度就不會產生零這個現象。所以也可以說,光子晶體也可以控制光的速度。

  就簡單來說,運用光子晶體的目的濃縮成一句話,就是要利用周期構造,以人工的方式來控制這個光學特性。

  2、光子晶體與有固態發光元件差異

  光子晶體有3 個光學特性,可以利用人工的方式來加以控制而達到不同的目的。第一個特性是,如果利用光能隙的話,就可以遮蔽光通過。利用這個特性可以把光鎖在一個相當狹小的區域里面。目前產業界中,就有利用這個特性把光聚集在一個區域里面,制作成一個集成電路。

  另外一個特性是,就是光子晶體有異向性,光子晶體的光會朝向很多方向散射,原因是光子晶體可以隨著光的偏光角度,出現透光與不透光(某個角度它可以透過,但是有些角度是沒辦法透過)。

  第三個特性就是,光子晶體的曲線非常復雜、變化多端。因為光子晶體的曲線變化非???,非常不規則,所以只要波長稍有變化,那就可以看到進入光子晶體的光,它的角度就會偏離得非常大。在優點方面,光子晶體的面積要比傳統集成電路縮小了千分之一,所以,相對的,電路的積集度就比過去增加了1,000 倍。而另一個優點是折光性倍數可以達到以往1,000 倍。

  另外,也可以利用偏光性,改變光的性質,可以將以往正方形的偏光濃縮成以往體積的千分之一。簡單來說,光子晶體它有什么樣的好處與特性?積集度高,體積小,成本低。

  3、利用光子晶體制作出LED

  除此之外,光子晶體還有其它的特性。利用它的特性,可以制作出光子晶體LED。大致上可以分為2 種,一種是LED,一種是雷射二極管(Laser Diode)。LD 雷射二極管部分我們可以分為光子晶體 DFB 雷射二極管(Photonic crystal DFB LD)與Photonic crystal defect LD。光子晶體DFB 雷射二極管是大家比較了解的結構,其雷射值可以控制在非常低的區域來做發射,這樣子的結構,是必須存在光能隙的區域,也因為是如此,所以這樣結構要實現商品化是比較困難。

  相對的利用光子晶體的結構制作成LED 是比較簡單。有關光子晶體常常被混淆的部分是,以為是利用DFB 雷射,所以就會有人認為是不是利用特定的周期或波長來運用?其實答案是不對的。理由是DFB 雷射跟光子晶體LD,它的入射(Incident)和衍射(Diffracted)的光是受限制的。但是相對光子晶體的入射光角度和衍射光角度是不受限制的。所以并不是利用特定的周期或波長來加強效率,這個特性對于LED來說是非常重要的。

  4、光子晶體藍色LED

  利用藍色LED 來制作的白光LED,藍色LED 會發出藍色的光,但是各個藍色的光會根據YAG 螢光粉部分會轉換成黃光,利用藍色和黃色的光,可以讓LED 產生出白光,白光LED 被應用在白光照明燈跟液晶背光的光源,這種白光LED 被稱為固體白色照明。這種光有3 個特色:體積小,省能源,壽命長,但是有一個很大的問題需要克服:比起螢光燈,這樣的白光LED 發光效率比較差,為了解決這個問題,便可以利用光子晶體來解決這樣的問題。

  為了克服,藍光LED 發光效率比較低的問題,可以將光子晶體放在藍光LED 里,利用光子晶體來提高發光效率,這樣生產出的藍光光子晶體LED 的特色是周期長,要讓發光效率提升,有幾個很重要的技術。傳統的LED 制作非常簡單,但是存在的問題點就是發光效率比較差,因為是傳統的藍光LED表面的全反射,從活性層出來的光線,會被表面全反射掉。這樣的光就沒有辦法發射到LED外面。

  針對這個問題,CREE 在制作過程中做了一些改善的動作,在Deformed Chip 中可看到活性層旁邊是一個斜面,利用這樣斜面的結構,可以讓發光效率提高,同樣是針對提高效率的問題,我們設計出了二次元的集積表面,利用這樣子的結構,可以讓表面的發光效率提高,所以我們是利用半導體的Planar 技術,這是一個很精密的技術,用來控制這個構造。

  Penetration 是利用二次元的活性層讓光穿過,這樣的結構可以使發光效率高達80%,但是也有一個問題需要克服,那就是內部量子效率會降低。由于為了要讓光透過活性層,就會因為達到透過活性層這個目的而降低內部量子效率。Resonant Cavity 是在光子晶體LED 上面加載共振器,這個設計稱為共振器LED,在LED的周邊,我們配置上光子晶體,利用這個設計,可以把他LED 效率提高60%,而前面提到我們利用Planar 技術所開發出來的Surface Grating 的設計方式雖然不錯,但是在電流的注入上會有一些問題。

  與Surface Grating 相較下,雖然Resonant Cavity 在電流的注入上會比較容易,不過,ResonantCavity 本身也會有問題存在,那就是共振器LED 在制作上比較困難,制作困難就代表說成本就會提高,對于LED 大家都希望可以以低成本量產,這就造成了發展瓶頸,Penetration與Resonant Cavity 這2 個設計,只是在LED 上面加上一個二次元的設計,這樣的設計是可以用上原本既有的LED 上。

  5、光子晶體藍色LED 運作原理

  現有的LED 結構,可以看到他的全反射,臨界度是比較小的,主要是因為表面將光全部反射,相對的,光子晶體藍色LED 所設計出來的LED,由于衍射的關系,可以修正光的角度,修正后的光可以比臨界角還小,并可進入臨界角投射到外面,改善過去LED 的光會全部反射的問題。從LED 的活性層發射出來的光,我們可以360 度放射出去,但以往的LED 只能受限于臨界角,只能在臨界角范圍內發光,在臨界角內的光才能發射出去,我們知道臨界角范圍內的面積只占整個范圍的4%,所以相對光子晶體的光就比較廣,能有更多的面積將光反射出去,就是利用這個原理將發光效率提高。

  6、光子晶體的設計要點

  在光子晶體的設計上有一些重點,有一個指標是周期這一部分,周期和衍射的距離有關,如果周期越小,衍射的距離就越大,縱使經過修正后還是沒有辦法將光發射到外面去。相對的如果周期變大,衍射的距離越小,因為這樣的關系,光就可以移到外面去了,所以在設計上需要找到一個最適合的周期。

  還有一個要點就是高度,高度跟衍射的效率有相當緊密的相關聯性,實際上并不是所有的光都會受到衍射的影響,受到衍射影響的光都會跟衍射率產生相關聯,所以這兩個重要指標就是在開發光子晶體LED 時,需要計算出最適當數值的G 值,所以在設計上就必須經過相當精的密計算來取得G 值。

  而在設計中,如何去計算出LED 表面需要多少光,可以利用FDTD 計算方式來做一些運算,這個計算方式在光子晶體上是普遍被運用的一個方式。非光子晶體的LED,是屬于表面比較平坦的一種LED。非光子晶體的LED 產生光后,跟空氣接觸的光源那部分,會因為表面全反射掉。

  而光子晶體LED 的設計,可以讓光不受反射影響,將光反射到外面。而高度的部分也是成曲線分布,到某一個高度時,效率是最高的,可以看見發光效率最高的周期是在1.5 微米的地方,而發光效率最高是0.25 微米,由此可見,在這個區域是一個非常長的周期,非常短的高度,這就顯示說光子晶體的制作非常簡單,只要找出最適合的周期1.5 微米,比發光波長還要長的一個周期,然而常說現有的LED 至少要克服這樣的條件,但是從這里的設計可以看出,即使這個周期很長,還是可以達到高效率,所以對于這種光子晶體設計,稱之為長周期光子晶體。

  所以,設計的光子晶體LED周期是比較長的,此外,還有另外的一個特色,就是在光子晶體的表面鍍上一整面的薄膜,這個薄膜就是透明電極,透過這個薄膜設計,光可以從整個面都可以發光出去。

  7、光子晶體LED制程

  制作的光子晶體LED 上透明電極的影響作的解釋,可以看到,無論有沒有涂上透明電極,對發光效率并沒有很大影響。根據這個結果,我們就很放心的在光子晶體上覆上一層透明電極。利用藍寶石作為基板,再經過MOCVD、EB 和RIE ETCHING 等等制程,制作出來二次元的光子晶體LED。

  根據我們的說法,目前暫時是利用EB 的方式,但以后在正式量產或商品化時,就會用另一個成本更低的做法,另外還會做乾式(Dry)Etching,再形成一個透明電極和電極板。就理論來說,在計算后的結果應該是高出3 倍的,但是在這次實驗后,得出的結果卻只有高出50%。分析原因有可能是在光子晶體形成的制造過程中,所使用的數值并不是最適當的數值。所以我們相信,只要改變這個流程,發光效率應該就會像計算的數值一樣達到3 倍。

  此外,另外一個可能是在制程中出現一小瑕疵,那就是在芯片中有一個小裂縫,而這個裂縫的出現,也會影響到整個LED 的發光效能

  8、透過透明電極可達到大面積的發光

  我們是第一個將光子晶體運用導入藍色LED,而且很成功。發光效率達到1.5 倍。相信業界透過這樣不斷的研究,顯示出固體白光照明的商品化應該是指日可待的。這個技術絕對可以運用并量產。另外一點,光子晶體的獨特設計使得長周期構造可以實現。因為這樣的長周期構造讓GaN的光子晶體的應用更容易實現。另外,經過實際的制作后,我們也證實了一件事,在光子晶體的表面都覆上了一整面的透明電極,這樣一個獨特設計,使得大面積的發光能夠具體實現。

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