一直以來，MEMS激光雷達都被視為在自動駕駛領域最快落地的商業LiDAR技術路線。2019年過去了三分之一，MEMS激光雷達領域投資的新聞以及各家新品的推出，讓我們強烈地感受其落地的腳步聲越走越近。

　　MEMS通過可以上下左右震顫的振鏡來調整激光發射的角度，從而可以實現單線激光發射器的的掃描效果。這個方案從技術上較容易實現，相對于其他技術路線成本低廉可控，因而被主機廠看好，這是MEMS受歡迎的原因。

　　在從機械式激光雷達向固態激光雷達的演變過程中，一些企業選擇直接進入全固態激光雷達，也有許多企業深耕于混合固態技術路線的MEMS激光雷達。那么，2019年真的會成為MEMS激光雷達技術路線元年嗎？

　　AI芯天下丨2019年將成MEMS激光雷達技術路線元年

　　MEMS技術、產品

　　MEMS即微機電控制系統，MEMS固態激光雷達所需的掃描模組，將傳統的導航激光雷達中的旋轉裝置芯片化，具有高分辨率、高可靠性、低成本、小尺寸、易集成等優勢，主要應用于機器視覺、主動避讓及自動駕駛方面。

　　它是一個獨立的智能系統，可大批量生產，其系統尺寸在幾毫米乃至更小，其內部結構一般在微米甚至納米量級。MEMS（微機電系統）最初大量用于汽車安全氣囊，而后以MEMS傳感器的形式被大量應用在汽車的各個領域，隨著MEMS技術的進一步發展，以及應用終端“輕、薄、短、小”的特點，對小體積高性能的MEMS產品需求增勢迅猛，消費電子、醫療等領域也大量出現了MEMS產品的身影。

　　MEMS系統特點優勢顯著

　?、費EMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。

　　②以硅為主要材料，機械電器性能優良：硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度類似鋁，熱傳導率接近鉬和鎢。

　?、塾霉栉⒓庸すに囋谝黄杵峡赏瑫r制造成百上千個微型機電裝置或完整的MEMS。批量生產可大大降低生產成本。

　?、芸梢园巡煌δ堋⒉煌舾蟹较蚧蛑聞臃较虻亩鄠€傳感器或執行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統。微傳感器、微執行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩定性很高的MEMS。

　?、軲EMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科，并集約了當今科學技術發展的許多尖端成果。

　　MEMS激光雷達是最快落地的技術

　?、費EMS微振鏡幫助激光雷達擺脫了笨重的馬達、多棱鏡等機械運動裝置，毫米級尺寸的微振鏡大大減少了激光雷達的尺寸，無論從美觀度、車載集成度還是成本角度來講，其優勢都令人驚嘆。

　?、贛EMS微振鏡的引入可以減少激光器和探測器數量，極大地降低成本。傳統的機械式激光雷達要實現多少線束，就需要多少組發射模塊與接收模塊。

　?、鄄捎枚SMEMS微振鏡，僅需要一束激光光源，通過一面MEMS微振鏡來反射激光器的光束，兩者采用微秒級的頻率協同工作，通過探測器接收后達到對目標物體進行3D掃描的目的。與多組發射/接收芯片組的機械式激光雷達結構相比，MEMS激光雷達對激光器和探測器的數量需求明顯減少。

　?、軝C器人和無人機是MEMS激光雷達可能的應用領域，前的激光雷達系統對于自動駕駛汽車而言成本過于高昂，而汽車產業對成本非常敏感。其他可能的應用，還包括智能手機的3D人臉識別，例如蘋果（Apple）的FaceID。

　?、莺蛡鹘y的機械旋轉式的激光雷達相比，MEMS激光雷達的技術路線有所不同。取消了機械馬達旋轉部件，使用了體積更小的MEMS鏡，所以體積可以做到更小。再加上只要一個激光頭，因此可以有效控制成本。目前有不少企業都在等待產量上升后攤薄成本，因此需要考核的是如何保證產量。

　　MEMS激光雷達量產等問題

　　作為自動駕駛中的關鍵傳感器，激光雷達最讓人關心的問題是車規化與低成本。這兩個問題決定了激光雷達能否大規模量產，應用到可落地的自動駕駛方案之中。

　　MEMS激光雷達面臨的問題首先在于如何讓微顫鏡的高頻振動可控，其次則在于如何達到車規級。目前較為成熟的方案是4*4mm的振鏡，大多數MEMS激光雷達都是使用這款產品。一方面精細的動部件在可靠性與壽命上要達到車規要求，難以適用不同的溫度與振動環境；另一方面要想增強效果，需要更大的振鏡，但是振鏡越大，越偏向于機械屬性而非半導體屬性。

　　MEMS方案和常規的機械激光雷達相比，可以把體積做小，把成本降低。MEMS是在毫米尺度上對材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術，會將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一個整體單元。

　　MEMS對精度要求很高，因此在生產制造有別于一般電子產品制造，生產企業在生產上要把控很多細節：制造精度是不是足夠、轉鏡拋光是不是剛好、MEMS機械精準度如何。

　　結尾

　　混合固態依然是最受歡迎的一種方案，以MEMS為主要代表。激光雷達的本質是利用ToF原理，通過發射激光來進行物體的探測，要想探測到車輛周圍足夠多的數據信息，就需要激光能夠對應地掃描到這些位置。機械式激光雷達通過旋轉來達到這個目的，但是動部件在可靠性、壽命、對振動的適應等方面都存在或多或少的問題，因此可以說2019年將成MEMS激光雷達技術路線元年，而考慮到最終的車規級量產，目前還難以實現。