今日，華卓精科將首發上會，沖刺科創板IPO。

　　據了解，華卓精科如果能成功上市，或將成為國產光刻機第一股。

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　　募資超7億，加碼研發

　　華卓精科成立于2012年，雖被譽為國產光刻機第一股，但公司不生產光刻機整機，而是聚焦EUV光刻機雙工件臺技術。

　　公司主要產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設備部件以及晶圓級鍵合設備、激光退火設備等超精密測控設備整機，以及上述部分主要產品的技術開發服務。

　　華卓精科本次擬發行股票不超過3200萬股，募集資金約7.35億元，將用于半導體裝備關鍵零部件研發制造項目、超精密測控產品長三角創新與研發中心建設、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發項目等。

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　　中國破冰雙工件臺技術！

　　光刻機有三大核心部件，EUV光源、雙工件臺、光學鏡頭。其中技術壁壘最高、制成難度最大的是雙工件臺，成本占到整個光刻機成本的10%-20%。

　　此前，光刻機的雙工件臺技術被荷蘭的ASML公司一手壟斷，而華卓精科攜手清華團隊成功打破了雙工件臺技術壁壘，成為了全球第二，全國第一家掌握掌握EUV光刻機雙工件臺技術的廠商，實現了技術、雙工件臺零部件的完全自主化生產。

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　　對標ASML，理想芯制程達7nm

　　在技術水準、芯片制程高度上，華卓精科的雙工件臺與ASML公司的雙工件臺基本上位于同一水準。

　　華卓精科與上海微電子一直保持著良好的合作關系，上海微電子28納米浸入式光刻機，采用的工件臺正是華卓精科的雙工件臺。

　　據悉，該工件臺最高精度可達1.7納米，適用于65納米以下的芯片制程，高速運作下理念可行的芯片制程水準達2納米。

　　上海微電子28納米光刻機是浸入式光刻機，因此可以通過水的多次折射縮短光波，實現更高精度的芯片投射，結合華卓精科的雙工件臺，可以實現7納米芯片的自主化生產，前提是不計較時間、勞動、能源成本。

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　　客戶單一，銷售規模較小

　　華卓精科表示，目前公司光刻機雙工件臺產品客戶單一。

　　目前華卓精科的光刻機雙工件臺僅有上海微電子一家客戶，并且該產品仍處于小批量定制生產階段，尚未實現規?；慨a。

　　截至目前，華卓精科DWS系列光刻機雙工件臺累計發貨4臺，目前仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子最終驗收。

　　業績方面，2018年-2020年，華卓精科營收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元；凈利潤分別為1512.36萬元、2087.24萬元和1242.83萬元。

　　華卓精科表示，報告期內公司的晶圓級鍵合設備、激光退火設備和光刻機雙工件臺處于產品商業化初期，客戶相對較少，尚未形成規?；a品銷售，導致公司整體銷售規模較小，銷售結構尚未穩定，存在較大的變動。