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【技術大咖測試筆記系列】之七:2601B-PULSE讓VCSEL設計人員更有信心

2021-09-26
來源:泰克科技技術大咖
關鍵詞: 泰克科技 LIDAR

  夜深了,你正開車回家。你很累,想趕緊上床睡覺。突然,路中間出現了一個龐然大物。汽車緊急制動,防止撞上動物,同時防止脫離道路。通過光線檢測和定距技術,也稱為LIDAR,您的汽車成功地防止了一起車禍。

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  LIDAR是一種3D傳感技術,采用各種波長的脈沖式激光,測量可變距離,檢測車輛前方、后方或側面的物體。LIDAR系統的核心是垂直腔表面發射激光器(VCSEL),這種半導體器件從頂部表面垂直發射激光。VCSEL從表面垂直發出光,使其成為LIDAR系統的完美器件。

  VCSEL的優勢之一,是能夠在半導體晶圓上制造,可以簡便地測試電氣性能和光學性能。此外,由于LIDAR系統在陣列中要求數千個單獨的VCSEL來執行關鍵事務型應用,因此必須在生產工作流程的各個階段執行有效測試。通過各階段測試,可以在早期剔除不良VCSEL,讓結果更可預測,讓良品率更可控,并降低鑄造成本。

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  那么問題來了:VCSEL測試面臨著一長串挑戰,而且挑戰只會隨著技術進步不斷提高。這篇博文意在更深入地考察這些挑戰,以及泰克科技旗下公司吉時利最新推出的2601B-Pulse脈沖器/SMU儀器可以怎樣幫助設計人員克服這些挑戰。

  使用傳統SMU進行VCSEL測試的挑戰

  設計人員通常使用傳統儀器測試VCSEL,如源測量單元(SMUs),但隨著技術不斷進步,測試挑戰數量正不斷增多。下面是其中五個最大的挑戰。

  第一,LIDAR使用的VCSEL要求更高的功率,因此需要更高的測試電流。引入更高的測試電流因自熱提高了器件損壞的風險,在晶圓上測試時,這可能會成為問題,因為它會嚴重降低良品率。

  第二,要求在晶圓上進行脈沖電流測試,以使器件熱量達到最小,一般要求幾十微秒的脈寬及一位數微秒或以下的上升時間。

  第三,測試系統中使用的電纜長度及相關電感影響著儀器提供干凈的、快速上升時間、無過沖、無下沖的脈沖的能力。

  第四,對LIDAR應用,VCSEL通常被驅動到高達10 A,包括在陣列中。但巨大的挑戰是生成短脈沖,短達10微秒,且上升時間非常短,通常不到2微秒。這一點非常關鍵,因為90%以上的VCSEL客戶要求脈沖電流波形穩定,以保證光峰值功率、近場和遠場測量的準確度。

  第五,遺憾的是,并不是所有脈沖器/SMU儀器都會輸出高質量脈沖。某些儀器容易過沖,上升時間長,下降時間長。許多儀器要求手動調諧來改善脈沖波形形狀,特別是在為VCSEL提供電流脈沖時,其電感可能會在不同器件之間及因測試電纜電感而變化。

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  在電流以非常小的脈寬發送脈沖時,某些SMUs容易過沖,下降時間長。

  最首要的,即使在特定電流電平下調諧脈沖輸出,仍不能保證手動調諧可以得到一致的脈沖波形,特別是在測試脈沖式IV幅度掃描的VCSEL時。某些脈沖器/SMU解決方案要求大量的調諧參數,如帶寬、補償頻率、零極點、負載阻抗和上升時間。但在生產測試中,在車間里調諧脈沖輸出要么不方便,要么效率差。因此,行業一直要求泰克/吉時利這樣的公司開發速度更快、電流更高的源和測量設備,以便提供他們所需的性能。

  客戶就這些問題與我們分享了許多關注事項,告訴我們:

  ·我們需要更短的電流脈沖,低達10 μs,但電流高達10 A。

  ·我們必須使脈寬達到最小,以提供更高的電流測試VCSEL和陣列。

  ·我們不能容忍器件變熱,甚至可能燒毀探頭尖端。

  ·電流脈沖的任何過沖都可能會導致器件損壞。

  ·我沒時間不斷調諧來獲得最好的脈沖輸出。

  ·如果波形不是高保真波形,那么可能會導致表征錯誤,進而導致良品率差及現場故障。

  吉時利脈沖器/SMU解決方案

  為應對客戶反饋的挑戰,吉時利最新開發了2601B-PULSE系統源表10 μs脈沖器/SMU儀器。最新2601B-PULSE采用脈沖表技術,是一種業界領先的高電流/高速脈沖器,提供了傳統SMU的測量及全部功能。這種最新脈沖器在10 V時提供了領先的10 A電流脈沖輸出,支持最低10 μs脈寬,特別適合測試LIDAR中使用的VCSEL、照明和顯示器中的LED,以及半導體器件表征、浪涌保護測試等。

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  吉時利最新推出的2601B-PULSE系統源表10μs脈沖器/SMU儀器

  脈沖器內置1 M樣點/秒(MS/s) 18位模數轉化器,可以同時采集脈沖電流和電壓波形,而無需使用單獨的儀器。2601B-PULSE是一種強大的解決方案,明顯提升了各種應用中的生產效率,如臺式表征及高度自動化脈沖式I-V生產測試。

  這種新型儀器最具創新性的功能是不要求手動調諧,不管電流幅度是多少,也不管電感負載高達3 μH。在輸出電流脈沖時,線纜和電感可能會成為難題。電感可能會有限制效應,甚至會帶來損壞。電感在不同器件之間通常是不同的,即使是在測試晶圓上的激光二極管時。電感對電流源的影響在于,電感會阻止電流變化。這會導致電流源提高輸出電壓,在脈沖穩定時導致過沖和振鈴,而這在測試中是不可接受的。

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  被測器件和測試系統電纜中的電感可能會影響輸出電流脈沖的質量。

  如前所述,某些解決方案要求調諧以補償這些行為,可能會耗費很長時間。2601B-PULSE的控制環路系統對10 A以下任何電流3 μH以下負載變化不需要手動調諧,因此在輸出10 μs ~ 500 μs脈沖時沒有過沖和振鈴。這保證了快速上升時間,可以為器件提供電流脈沖,正確表征器件或電路。在通過多個幅度掃描脈沖時,如VCSEL脈沖式LIV測試掃描中,這一點異常重要。下圖顯示了各種電流幅度時的高保真電流脈沖輸出及2601B-PULSE的電感負載。

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  很明顯,2601B-PULSE提供了業界領先的電流脈沖輸出性能,消除了手動調諧,而在高速自動探測系統中測試晶圓上的VCSEL時,手動調諧效率很差。上圖清楚地顯示了您可以滿懷信心地測試,而不管電流電平及不同電感負載,可以實現可重復的性能和上升時間。這款新儀器提供了許多好處:

  ·使用一臺儀器進行DC/脈沖電流和電壓測量

  ·滿懷信心地表征VCSEL,幫助您開發下一代材料、元器件和模塊

  ·不需要手動調諧脈沖輸出,保證高脈沖保真度,縮短測試時間,節省生產成本

  ·最大限度地減少器件自熱,減少探頭尖端燒毀的風險,從而保護VCSEL、VSCEL陣列和LED

  ·測量最低一位數μs的采樣率,同時計算10V時10 μs、10 A電流脈沖

  您正面臨著哪些測試挑戰?

  您是否裝備充足,可以表征LIDAR使用的VCSEL或者其他光電器件?您是否準備好克服這些不斷進化的器件提出的不斷增長的挑戰?歡迎與我們溝通您的脈沖測試應用,討論最新2601B-PULSE可以怎樣幫助您解決挑戰。請與我們的應用工程師聯系,或訪問2601B-PULSE產品頁面了解更多信息。


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