薄膜應力按作用方向的不同，被劃分為負值的壓應力和正值的張應力，當薄膜相對于基底膨脹時，則處于壓應力狀態，而當薄膜相對于基底收縮時，則處于張應力狀態。
圖片
薄膜的殘余應力由熱應力和內應力組成，熱應力與內應力的形成機理如下所述。
大多數薄膜在高于大氣環境溫度的真空環境中制備完成，在逐漸冷卻至室溫的過程中，由于薄膜與基底、薄膜與薄膜之間的熱膨脹系數不同，使得薄膜系統中各部分之間的膨脹程度有所不同，這種由溫度變化引起的薄膜系統中各部分之間的膨脹差異稱為熱應變，從而產生了熱應力。薄膜內應力的形成機理的復雜程度遠大于熱應力。
薄膜內應力的形成、作用方向和作用方向的變化與薄膜的制備方式和工藝條件息息相關，不同的制備方式和工藝條件會作用在薄膜生長過程中，通過影響薄膜中的晶粒、晶界、雜質、空位和表面應力等因素來改變薄膜的結構，薄膜內應力的形成是多種機制綜合作用的結果。
光學薄膜設計軟件
功能多樣
★TFCalc 是一個光學薄膜設計和分析的工具，這里有按順序排列介紹了 TFC 的功能：吸收、有效鍍膜、角度匹配、雙錐形的穿透、黑體光源、色彩優化、約束、繼續優化目標、派生目標、探測器、散射公式、電場強度、同等折射率、同等堆棧、獲得材質、全局優化、組優化、發光體、膜層敏感性、局部優化、多重環境、針優化、光學監控、光學密度、相位移動、psi、發光分布、折射率的確定、反射、敏感度分析、堆棧公式、綜合、穿透率、隧道效應、可變材料。
創新
★TFCalc 軟件是膜系設計軟件中提供創新方法的領導者。例如，TFCalc 允許活動材料-材料的折射率隨著外部影響而改變。這個功能是其它商業軟件沒有的功能。
容易使用
★TFCalc 是標準的 windows 和蘋果機程序；薄膜設計工程師利用菜單、對話框和窗口來輸入并顯示結果。
★Software Spectra 努力讓 TFCalc 軟件盡可能的容易使用，特別是對僅僅偶爾使用軟件的工程師來說這一點更加重要。TFCalc 軟件包中包含了大量的設計實例。
多種平臺
TFCalc 可以在以下計算機和操作系統下工作：
★運行 windows 3.1 ，3.11， 95，98，2000，7,XP 的 PC。
★運行 System 7 或更新版本的蘋果計算機。
★TFCalc 所輸出的檔格式兼容這兩個平臺，讓你和同時可以共享數據。
