近日，炬光科技在投資者互動平臺上表示，公司為荷蘭ASML核心供應商A公司提供光刻機用光場勻化器和半導體晶圓退火核心元器件。

據了解，炬光科技成立于2007年9月，主要從事激光行業上游的高功率半導體激光元器件、激光光學元器件的研發、生產和銷售。目前聚光科技已發展成為國內實力最強的高功率半導體激光器品牌，擁有共晶鍵合技術、熱管理技術、熱應力控制技術、界面材料與表面工程、測試分析診斷技術、線光斑整形技術、光束轉換技術、光場勻化技術（光刻機用）和晶圓級同步結構化激光光學制造技術九大類核心技術，產品逐步被應用于先進制造、醫療健康、科學研究、汽車應用、消費電子五大領域。

而炬光科技為ASML供應商提供的半導體晶圓退火核心元器件和光場勻化器可用到半導體制造工藝中的前道工序中。

眾所周知，晶圓激光退火是28nm及以下邏輯芯片制造中的關鍵工藝之一。該工藝采用近紅外波段半導體激光光源，通過多組不同功能的激光光學整形系統及光學勻化系統，可以有效做到提升晶圓生產的良品率。

而聚光科技擁有的DLight S系列半導體集成電路晶圓退火系統在能量均勻性和能量穩定性上表現優異，可應用到半導體前道工序中，并完成動態表面退火（DSA）和激光尖峰退火（LSA）兩種加工工藝。

另外，炬光科技推出的微光學光束整形產品具備大透鏡縱深（大數值孔徑）、光場非均勻度低（1％）、高品質材料選擇范圍廣（玻璃、石英、半導體等）等優勢，目前已經應用到業界領先的高性能半導體設備制造商中。

并購 LIMO擴大業務范圍

值得一提的是，在去年12月23日，炬光科技發布了科創板上市公告書，根據公告書內容顯示，炬光科技的重要收入及盈利來源于海外客戶，在報告期內，公司主營業務收入中境外收入分別為 21，400．48 萬元、18，071．63萬元、18，855．15 萬元和 9，160．51 萬元，占主營業務收入比例分別為 61．38％、54．88％、53．19％和 42．51％。

而炬光科技的境外收入來源于2017年的一場并購。

在2017 年，炬光科技通過并購 LIMO后擁有“調控光子”的技術能力，并通過研發、市場、銷售的戰略整合，相互結合開始拓展“光子技術應用解決方案”。

據了解，LIMO是一家致力于拓展激光光學元器件的新興應用領域的公司，主要從事激光光學業務，擁有線光斑整形技術、光束轉換技術、光場勻化技術、晶圓級同步結構化激光光學制造技術等多項核心技術。

收購 LIMO 后，炬光科技獲得了業務能力上的彌補和擴展，通過將LIMO原有業務激光光學產品線（MO）保留在 LIMO中運營，并在東莞新建產能共同從事激光光學元器件業務；半導體激光產品線（主要是工業應用模塊，ILS）轉移至西安運營，豐富了炬光科技的高功率半導體激光的產品線；

如今，炬光科技現已形成高功率半導體激光元器件、激光光學元器件、汽車應用（激光雷達）和光學系統四大核心業務領域。

半導體激光和激光光學為主營業務

在報告期內，炬光科技2021 年 1－9 月實現營業收入 34，289．44 萬元，同比增長 29．33％，凈利潤為5439．32萬元，同比增長116．22％。其中公司半導體激光業務和激光光學業務分別較上年同期增長 54．68％和 23．86％，為本期業績增長的主要原因。

（圖源炬光科技公告）

目前，半導體激光業務和激光光學業務已成為聚光科技的主要營收業務，2021年1－6月，公司的半導體激光及激光光學業務營收金額分貝為9439．04萬元、10076．80萬元，分別占比43．8％、46．76％。

其中，炬光科技的激光光學業務典型產品包括光束轉換器、光場勻化器等。報告期內，其光場勻化器在光刻應用產品單價分別為22．30萬元／件、20．38萬元／件、20．87萬元／件和20．91萬元／件，光場勻化器等相關產品為炬光科技貢獻了較大業務收入。

ASML工廠發生火災

眾所周知，炬光科技提供的光場勻化器產品主要是提供給ASML的核心供應商A公司，且已經應用到ASML的核心產品高端光刻機當中生產。

據了解，ASML在當地時間1月3日的時候有部分工廠發生火災，當時ASML并未公布火災受損情況。

到了當地時間1月7日，ASML更新了德國柏林的部分工廠內發生火災的最新情況。

ASML表示，火災發生在柏林現場的一棟生產大樓的一部分，煙霧部分影響了相鄰的大樓。目前已經能夠在這些建筑物的部分地區恢復生產?，F場的其他建筑物沒有受到影響，并已全面投入使用。

盡管ASML對損害的影響評估仍在進行中，但ASML認為：

1．我們的計量和檢驗輸出計劃不受影響，因為它們不包含柏林制造的任何組件。

2． DUV組件的制造已重新啟動。盡管 DUV 的組件出現了一些中斷，但我們希望以不會影響我們 DUV 的產量和收入計劃的方式進行補救。

3．關于EUV光刻機，火災影響了我們 EUV 系統中的一個模塊晶圓夾具的部分生產區域。我們仍在完成該生產區域的恢復計劃，并確定如何最大限度地減少對我們的 EUV 客戶的任何潛在影響，無論是在我們的輸出計劃還是在我們的現場服務中。

同時，ASML還表示其將在2022 年 1 月 19 日公布 2021 年第四季度和全年業績，以及對 2022 年的初步看法，預計屆時還將提供有關該事件的進一步更新。

這次ASML德國柏林的工廠發生火災，已經影響到了其光刻機產品重要零部件的供應，ASML或將因此找尋更多的供應商已確?？梢约皶r獲取充足的零部件供應，炬光科技子公司或將因此受益。

結語

炬光科技多年來一直為半導體光刻應用領域提供光刻機曝光系統中的核心激光光學元器件——光場勻化器，其產品目前在國內主要光刻機研發項目和樣機中也已經有所應用，而國內的半導體設備產業也將因此受益，有效改善國內半導體設備產業的生態環境。