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革了尼康、佳能命的浸潤式光刻機,是怎么被ASML研發出來的?

2022-06-21
來源:互聯網亂侃秀
關鍵詞: 佳能 光刻機 ASML

如果關注關刻機技術的人都清楚,目前有兩種光刻機,一種是DUV,一種是EUV。

其中EUV用于7nn及以下芯片的光刻,DUV用于7nm以上的芯片光刻。而DUV光刻機,基本上都是采用浸潤式原理。

即在光刻機中,采用水為介質,讓193nm波長的光線,進入水中進行折射后,讓波長變成132納米,從而實現從45nm-10nm級別的光刻。

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事實上,在浸潤式光刻機推出之前,業界采用的均是干式光刻機,即介質為空氣,193nm波長的光線,直接進行光刻。

而在干式光刻機技術中,尼康、佳能才是巨頭。至于ASML,還只是一個小工廠,與尼康、佳能完全不是一個級別的。

后來是ASML押寶浸潤式光刻機,某了尼康、佳能的命,把尼康、佳能踩在了腳下。

那么問題就來了,為何偏偏是ASML?

事實上,在光刻機采用193nm波長后,芯片工藝達到了65nm了,接下來芯片工藝是朝著45nm前進。但193nm的光線,感覺不夠精細,所以業界把光刻的光線瞄向了157nm的波長上。

但157nm這個波長的光線,很不好,這種光線穿透率很差,這就需要光罩材質要改進,鏡頭技術也改進。另外氧氣會吸收157納米的光,所以干式介質中,不能有氧氣,要采用氮氣。反正就是157nm波長的光線,難題一大堆,非常不好解決。

這時候在臺積電工作的林本堅,提出了一個觀點,為何一定要用干式介質呢?用水來當介質也可以的。

并且在經過不斷的試驗之后,他發現193nm波長的光線經過水折射后,波長變為132nm了,這個波長跳過了157nm這個討厭的波長,又解決了問題,豈不是兩全齊美?

但這時候像尼康、佳能等早就在157nm波長上投入了幾十億美元研究,并且認為157nm波長才是方向,所謂的浸潤式技術上并不可行,所以沒怎么理會。

只有ASML因為是小廠,反正光腳的不怕穿鞋的,覺得可以賭一把,于是用這個技術,趕出來了一臺試驗性的浸潤式光刻機,并把一些試驗出來的結果給臺積電看。

臺積電一看,覺得技術完全可行,于是臺積電和ASML兩家公司一起努力,研發浸潤式光刻機了。

而這時像尼康、佳能等,還說林本堅是在攪局,甚至想通過高層來阻止林本堅研發浸潤式光刻機,因為他們在157nm波長光刻機上投入太多了,還聯合了產業鏈一起向157nm推進,不可能半途而廢,那幾十億美元打了水漂了,給產業鏈也沒法交待。

最后就是ASML與臺積電研發浸潤式光刻機成功了,而研發157nm波長光刻機的尼康、佳能沒有拿出可靠的產品出來。

于是后來所有的晶圓廠,都轉向了ASML生產的浸潤式光刻機,當尼康、佳能轉向浸潤式光刻機時,已經落后ASML三、四年了。

所以最后,尼康、佳能只能看著ASML越來越火,最后還推出了EUV光刻機,他們卻慢慢的被淘汰掉了……




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