中文引用格式： 祁建華，馬詩旻，何桂玲. 數字孿生在半導體測試設備中的實踐[J]. 電子技術應用，2024，50(9)：25-30.
英文引用格式： Qi Jianhua，Ma Shimin，He Guiling. The practice of digital twinship in semiconductor testing equipment[J]. Application of Electronic Technique，2024，50(9)：25-30.
引言
我國在2015年部署了“中國制造2025”戰略，全面推進實施制造強國戰略[1]。智能制造是“中國制造2025”的主攻方向，而數字孿生(Digital Twin)是智能制造迅速發展的關鍵技術之一[2-3]。
數字孿生技術通過為物理世界中的客觀對象建立數字模型，實現對物理世界實體對象的實時監測、分析和優化[4]。數字孿生可實現物理世界與信息世界的交互融合[5]，被用于解決實際的工程問題。
Gartner在2017年開始連續三年將數字孿生列為十大戰略科技發展趨勢[6-8]。中國科學技術協會在其發布的2020重大科學問題和工程技術難題中將“如何建立虛擬孿生理論和技術基礎并開展示范應用”列為前沿科學問題之一[9]。
智能制造數字孿生應用已被廣泛應用于航空航天、電力、船舶等行業[10-12]。在半導體制造業的數字化轉型中，借助數字孿生技術可以對產線全流程進行實時監控和管理，有效提高企業的生產效率[13]。
集成電路生產線的設備投資占據總資本支出的80%（據SEMI估計）[14]，提高設備綜合利用率對于降低生產成本至關重要。通過IoT和邊緣計算，采集和上傳設備數據后，數字孿生技術可完成設備的可視化監控管理，實現提質增效的價值[15-16]，數字孿生正成為制造業數字化轉型的核心驅動力[17]。
數字孿生的定義在不同領域存在分歧[18]。陶飛教授提出了數字孿生成熟度模型分析[19]，該模型將數字孿生的成熟度分為L0至L5共六個等級。本文將探討半導體測試服務企業如何在這六個等級中，打通設備物理世界與虛擬世界的數據通道，并在數據上進行模擬分析，嘗試進行部分預測和優化工作。
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作者信息：
祁建華1，馬詩旻2，何桂玲2
（1.上海華嶺集成電路技術股份有限公司，上海 201203；
2.上?；饟纯萍加邢薰?，上海 201402）
