據麥姆斯咨詢報道，為支持、加快MEMS企業的創新和規?；砷L進程，深化蘇州MEMS中試平臺在全球MEMS產業創新鏈中的關鍵作用，蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司微納制造分公司（蘇州MEMS中試平臺，MEMSRIGHT）與麥姆斯咨詢近日簽署了戰略合作協議。雙方將利用各自在MEMS領域的相關技術或資源，共同努力完善中國MEMS生態系統，推進蘇州MEMS中試平臺快速發展，為MEMS初創企業提供技術咨詢、工藝開發、生產制造、封裝測試、市場推廣、項目融資等一系列服務。

作為中國首家專業MEMS咨詢公司，麥姆斯咨詢一直致力于打造全方位MEMS服務平臺，促進行業交流與合作，推動物聯網產業的發展。麥姆斯咨詢CEO王懿就此次合作評價道：“最近幾年，國內MEMS產業發展迅速，眾多MEMS創新企業在近兩年有了顯著增長。不過，MEMS不同于IC產業，其工藝非標準化，而且產品開發周期長、投入大，國內外MEMS企業都需要解決工程化、產業化的問題，完成從小批量到中等量到量產的爬坡過程。在這個過程中，需要為MEMS初創企業定制更多的服務支持，同時還需要解決成本控制、良率以及實現規?；a等問題，這就需要有一個中試平臺。蘇州MEMS中試平臺正是為補齊完善產業鏈而生?！?/p>

“為了給中國MEMS企業提供更多有針對性的生產制造支持，蘇州納米科技發展有限公司在2013年設立了蘇州微納制造分公司，打造了蘇州MEMS中試平臺，這是國內首家專注于微機電系統的專業研發與代工的平臺企業，” 蘇州MEMS中試平臺技術總監馬清杰說，“麥姆斯咨詢是國內MEMS領域最專業、最知名、影響力最大的咨詢服務平臺，我們非常高興能夠與麥姆斯咨詢建立深入合作，共同努力推進蘇州MEMS中試平臺的發展，完善中國MEMS生態系統?！?/p>

蘇州MEMS中試平臺目前針對不同的MEMS企業，提供的服務主要包括工藝研發、生產代工以及超凈場地和設備租賃等服務。在研發服務上，可以讓客戶利用蘇州MEMS中試平臺的生產設備和成熟的工藝技術確保產品性能及其一致性，縮短從研發到中試、量產的時間，加快產品商業化進程。在生產服務方面，蘇州MEMS中試平臺可以利用其完善的質量管控體系持續提升產品良率，給客戶提供優質的中試代工服務。并且在無法保證客戶足夠產能的情況下，給客戶提供轉出量產的技術支持。此外，蘇州微納始終堅持不生產自主設計產品，以保護客戶知識產權，打消客戶后顧之憂。

蘇州MEMS中試平臺，由蘇州納米科技發展有限公司建設，可提供6英寸MEMS工藝開發與加工服務、特色單步工藝加工服務以及部分MEMS封裝測試服務，6英寸超凈間主要場地為1850平方米（十級與百級潔凈等級），另有公共超凈出租場地3400平方米，為中小型MEMS設計公司的工藝開發和小批量生產搭建商業橋梁，該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目，也得到了工信部“工業轉型升級服務平臺項目”支持。

蘇州MEMS中試平臺平面展示圖

蘇州MEMS中試平臺目前已成功導入MEMS麥克風、壓力傳感器、微鏡、環境類傳感器、噴墨打印頭等產品，產品均已通過客戶驗證，完全具備了MEMS芯片的生產工藝開發和量產代工能力。

蘇州MEMS中試平臺部分MEMS工藝設備

在生產工藝方面，蘇州MEMS中試平臺擁有擴散、薄膜、光刻、離子注入、刻蝕、鍵合、減薄、劃片、在線量測及電參數測試等全系列生產制造及檢測設備。

此次合作預示著麥姆斯咨詢可以借助蘇州微納平臺對MEMS產業有更深入的研究，而蘇州微納將利用麥姆斯咨詢專業化的咨詢平臺和媒介特性，得到技術支持及推廣服務。