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5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導體技術,產能大漲600%

2020-05-29
來源:快科技
關鍵詞: 5nm ASML 半導體 晶圓

    提到荷蘭ASML公司,大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商,7nm及以下的工藝生產都要靠他們的設備。不過ASML不只是光刻機厲害,今天他們宣布了另外一個新產品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000,適用于5nm及更先進工藝,使得產能大漲600%。

    隨著制程工藝不斷提升,晶圓的制造也越來越復雜,這也會導致晶圓中的錯誤更多,HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技術的檢測系統,內部也有復雜的光電子系統,能夠產生、控制多個電子束,然后根據反射回來的電子束成像來分析晶圓質量,并有高速運行的平臺以控制測試的晶圓數量,還要有計算系統處理電子束的數據。

    簡單來說,ASML研發的這個HMI eScan1000機器就是一臺驗證先進工藝生產出來的晶圓質量的系統,工藝越先進,檢測系統就越重要,它的檢測精度、吞吐量決定了生產的效率。

    ASML的HMI eScan1000的突破之處在于能夠同時產生、控制九道電子束,所以產能提升了600%,可以大大減少晶圓質量分析所用的時間。

    目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先進工藝的晶圓測試,已經交付給客戶進行測試驗證,未來ASML還會推出光束更多的測試設備以滿足客戶對先進工藝的要求。

    

    

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