作為全球第一光刻機供應商,荷蘭ASML(阿斯麥)今天公布了2021年第二季度財報。
當季,ASML凈銷售額40億歐元,毛利率50．9%,凈收入10億歐元,凈預訂額83億歐元,其中EUV極紫外光刻機就有49億歐元,而總的積壓訂單金額已達175億歐元。
ASML在財報中還披露,第一臺全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機系統已經交付給客戶,相比之前的NXE:3400C生產力提高了15-20%,覆蓋率(套刻精度)提高了約30%。
不過,ASML未透露接收客戶是哪一家。
ASML還表示,正努力增加EUV光刻機在存儲行業的量產應用,計劃協助三個DRAM內存芯片客戶在未來的工藝節點中導入EUV。
ASML EUV光刻機目前還是第一代產品,EUV光源波長13．5nm左右,物鏡NA數值孔徑0．33,并發展了一系列型號。
最早量產出廠的是NXE:3400B,產能有限,晶圓產能只有125PWH,目前的出貨主力是NXE:3400C,產能提升到135WPH,而最新的NXE:3600D產能進一步提升到160WPH,價格據說也達到了1．45億美元(約合人民幣9．38億元)。
第二代EUV光刻機將會是NXE:5000系列,物鏡NA提升到0．55,進一步提高光刻精度,但原計劃2023年問世,現在推遲到2025-2026年,而價格預計將突破3億美元。
第三季度,ASML預計凈銷售額52-54億歐元,毛利率51-53%。
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