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半導體設備中的核心:光刻機占24%,刻蝕機占20%,我國技術如何?

2022-02-05
來源:互聯網亂侃秀
關鍵詞: 半導體 光刻機 芯片

眾所周知,芯片的原材料是砂子,但從砂子變成芯片,中間要經過N道工序,需要N種設備,同時也需要尖頂的技術。

而這些設備中,最重要的就是光刻機、刻蝕機了,按照機構的數據顯示,在芯片制造的所有設備中,光刻機的成本占比約為24%,而刻蝕機的占比約為20%,這兩種設備合計占比為44%。

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之后再是薄膜沉積設備、測試設備和封裝設備,分別占比20%、9%、6%。不過薄膜沉積設備不只有一臺,而是一類機器,有很多種,與光刻機、刻蝕機還是不一樣的。

那么問題就來了,既然這兩種設備這么關鍵,那么國內的光刻機、刻蝕機技術如何,與世界先進水平相比,有多大的差距?

先說光刻機,這也是大家最關心的,目前全球最頂尖的光刻機自然是ASML的0.55孔徑的EUV光刻機,售價大約為22億一臺,可生產2nm以下甚至埃米級(0.1nm)級的芯片。

之后再是0.33孔徑的ASML的EUV光刻機,售價10億元一臺,可生產5nm、4nm、3nm級別的芯片。

不過EUV光刻機只有ASML能夠生產,像尼康、佳能也不生產不了,而目前國內廠商上海微電子能夠生產的,且對外公開的(不公開的不清楚),只能用于90nm工藝,離ASML至少是10年的差距。

再說說刻蝕機,這一塊國產就非常厲害了,國內有一家廠商叫做中微半導體,生產的刻蝕機,在精度方面已經達到了3nm,并且被臺積電采用。

而中微半導體的刻蝕機與國際頂尖水平的應用材料、泛林相比,是處于同一水平的,這一塊沒有落后。

另外再提一下薄膜沉積設備這一塊,國內北方華創等也有生產,不過精度大約在14nm的水平,國產化率在10%到15%。

可見,半導體設備中的關鍵產品,我們其實除了光刻機外,其它的并不算特別落后,只要國產光刻機能夠有突破,那么純國產芯片的工藝也就能夠迅速突破了。




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