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三星SK海力士都將在新一代HBM中采用混合鍵合技術

2024-06-24
來源:芯智訊

據業內最新消息顯示,韓國DRAM芯片大廠三星SK海力士都計劃在即將推出的新一代高帶寬內存(HBM)中采用新的混合鍵合(Hybrid Bonding)技術。

晶圓鍵合也被稱為混合鍵合,即芯片垂直堆疊,通過硅穿孔(TSV)或微型銅線連接,I/O直接連接,沒有用到凸塊連接。根據芯片堆疊方式,還有分為晶圓到晶圓(wafer-to-wafer)、晶圓到裸晶(wafer-to-die)和裸晶到裸晶(die-to-die)。

現在的DRAM是在同一晶圓單元層兩側周邊元件,這會使表面積擴大,而3D DRAM則是基于現有的平面DRAM單元來做垂直堆疊,就像目前的3D NAND的單元垂直堆疊一樣。三星和SK海力士都計劃在不同DRAM晶圓上制造“單元”(Cell)和周邊元件(peripherals),然后再通過混合鍵合連接,這將有助于控制器件的面積、提高單元密度。

SK海力士曾在其第三代8層堆疊的HBM2E上進行過測試,使用混合鍵合制程后,通過了所有可靠性測試。SK海力士還評價了該HBM在高溫下的使用壽命,檢查產品出貨后客戶在芯片黏合過程中可能出現的潛在問題。目前,SK海力士計劃在新一代的HBM4上采用混合鍵合技術。

目前三星也在研究4F Square DRAM,并有望在生產中應用混合鍵合技術。4F Square是一種單元數組結構,與目前商業化的6F Square DRAM相比,可將芯片表面積減少30%。

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另外,三星在其論文中指出,未來16層及以上的HBM必須采用混合鍵合技術(Hybrid bonding)。三星稱,降低堆疊的高度是采用混合鍵合的主因,內存高度限制在775微米內,在這高度中須封裝17個芯片(即一個基底芯片和16個核心芯片),因此縮小芯片間的間隙,是內存大廠必須克服的問題。

三星今年4月使用子公司Semes的混合鍵合設備制作了16層的HBM樣品,并表示芯片運作正常。

另一家DRAM大廠美光此前在COMPUTEX 2024記者會上表示,公司也正著手開發HBM4,會考慮采用包括混合鍵合在內等相關技術,目前一切都在研究中。


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