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ASML前員工竊密案細節曝光

欲助俄羅斯建28nm晶圓廠
2025-04-07
來源:芯智訊
關鍵詞: ASML 恩智浦 晶圓廠 28nm

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2024年12月,一位ASML前員工(A先生)因涉嫌竊取ASML和恩智浦的商業機密而被荷蘭政府拘留,荷蘭移民局還對其實施了20 年的入境禁令,引發了外界關注。近日荷蘭媒體NRC針對該案件披露了更多的細節,并表示該竊密之舉是為了協助俄羅斯在本土建造一座 28nm 晶圓廠。

眾所周知,ASML 是全球最大的光刻機制造商,同時也是全球唯一的EUV光刻機供應商,全球所有的5nm及以下的芯片都依賴于ASML的EUV光刻機來制造。而除了ASML之外,目前僅有日本的尼康和佳能、中國的上海微電子裝備擁有光刻機的制造能力,但是他們在技術上與ASML之間存在巨大的代差。而荷蘭芯片廠商恩智浦則是全球領先的汽車及工業芯片制造商。因此,ASML和恩智浦相關核心技術也被荷蘭政府看作是關乎國家利益的重要資產,需要嚴防被外國“竊密”。

根據荷蘭媒體NRC的最新報道顯示,當地時間周四,針對該A先生的訴訟案件在荷蘭鹿特丹開庭,檢方指控他涉嫌竊取ASML和恩智浦的商業機密,并傳播生產芯片和芯片制造設備的手冊。此舉被認為是有助于被美西方制裁的俄羅斯在當地建立一座新的芯片工廠。A先生則希望從中賺取額外的收入。

NRC 采訪的相關專家稱,盡管A先生“竊取”的資料被標記為“機密”,但實際上很多卻是相當通用和“廣泛”的信息。

根據起訴書還顯示,A先生自2024年8月以來就因涉嫌挪用公款和違反制裁法而被審前拘留。他甚至在 2022 年俄烏沖突爆發之前就已經在收集信息,后來他通過U盤、應用程序和共享的Google Drive網盤與俄羅斯的一名同伙分享這些信息。在與俄羅斯情報機構 SVR 聯系后,他在莫斯科交出一個裝有“機密”文件的U盤,并收到了大約40000歐元的資金。

據介紹,A先生交易的機密信息當中,包括了105份來自 ASML 的文件、88份與臺積電相關的文件,此外還有GlobalFoundries(格羅方德)和恩智浦的相關文件。

通過在Mapper工作進入ASML

這位被指控涉嫌竊取ASML和恩智浦機密的前員工,是一名 43 歲的工程師,其曾在俄羅斯大學接受教育,并在俄羅斯科技公司工作。2008 年和 2009 年間,他先是去了比利時研究機構 imec 實習,然后又去了希臘研究機構 NCSR 工作,還曾在美國芯片制造商 GlobalFoundries 位于德累斯頓工廠工作。

2015年,A先生開始為總部位于荷蘭代爾夫特的Mapper Lithography公司工作,這是一家開發電子束光刻工具的公司。但是由于缺乏資金和足夠的訂單支持,2018 年底 Mapper 公司無奈破產。美國國防部為防止敏感技術落入俄羅斯或中國企業手中,對荷蘭政府進行施壓,隨后荷蘭政府要求ASML 收購了 Mapper 公司及其專利,100多名Mapper員工也被并入了ASML,這其中就有包括該“間諜”工程師在內的十多名俄羅斯員工。此后,該“間諜”工程師開始為ASML的“應用”部門工作。ASML則將 Mapper 的電子束技術用于計量和芯片檢查。

需要指出的是,Mapper公司早在2012年,曾獲得了一位主要的俄羅斯投資者 Rusnano的投資。作為這筆注資的交換,Mapper 在莫斯科建造了一家工廠,主要生產 MEMS(微機電系統)——帶有引導電子束的小透鏡的芯片,后來該工廠成為了隸屬于俄羅斯軍用無人機制造商 Astron的資產。

具體可參考《ASML收購Mapper的背后故事:中美俄荷四方暗斗》

擁有四項ASML專利

根據 NRC 與認識A先生的人的對話顯示,他的前同事形容他是“隱形”的,一個“孤獨的人”,有著某種奇特的交流方式。但沒有人懷疑他會竊取信息。

在ASML工作期間,A先生的職業生涯曾陷入了停滯,因為ASML決定將他負責的零部件生產工作外包出去,而ASML也不認為他是管理供應商的合適人選。雖然他試圖“拓寬”自己,但缺乏必要的理論知識,最終ASML決定在 2021 年之后不再與其續約。

雖然A先生不是一個雄心勃勃的人,但他的名字出現在 ASML 的四項專利中,其中最后一項于上個月公布。這怎么可能呢?由于專利是在多個國家/地區提交的,因此在首次申請和在其他國家/地區申請之間有很多時間間隔。

竊取機密

離開 ASML 后,A先生開始通過借調機構尋找新工作。他表示他想做更多的研究——希望在芯片技術領域的階梯上更上一層樓,但這并沒有成功。在2022 年 1 月新冠疫情期間,他開始在奈梅亨的 NXP 擔任受雇流程員工。在介紹性會議期間,他給人的印象是一個敬業但內向的技術人員,難以溝通?!埃ㄋ├饨欠置?,啰嗦,”認識他的人說。

在恩智浦雇用該A先生的那一年,他與同事幾乎沒有聯系。2022 年 5 月,他向奈梅亨的一家公司詢問 ASM International 的二手化學氣相沉積設備的報價。最初,這些設備應該運往德國,但后來他將目的地改為以色列。該物品從未交付。現在,這被視為為俄羅斯新設施收集設備和零件的嘗試。

根據A先生前妻的一份聲明顯示,他于 2023 年底與俄羅斯科學家接觸,以助力俄羅斯在本土建立新的芯片工廠。目的是在那里制造 28nm 芯片。

2023年,該A先生與代爾夫特理工大學應用科學學院簽訂了一份為期一年的合同。他在那里也過著與世隔絕的生活,但研究并未表明他從代爾夫特理工大學竊取了文件。

然而,A先生的U盤確實包含來自全球最大的晶圓代工企業臺積電和美國晶圓代工企業 GlobalFoundries(格羅方德)的相關文件。以臺積電為例,A. 的U盤中有 88 個不同的文件與臺積電相關。具體是哪些,目前尚不清楚。恩智浦是臺積電的客戶,ASML 也為臺積電供應光刻機。

沒有光刻機設計圖

2024 年 8 月 28 日,A先生 在 AIVD 情報局的官方報告后被捕。2024 年 10 月,ASML 和 恩智浦 的法務部門收到消息,稱A先生涉嫌間諜罪。兩家公司都在配合警方的調查,并對這名前雇員進行了舉報。

據恩智浦的專家稱,大多數商業秘密都屬于“技術援助”類別。在A先生的電腦和手機上還發現了 105 份來自 ASML 的文件。其中一些是“機密”信息的演示,但它們并不是構建光刻機的藍圖,更不是整個芯片工廠的藍圖。

A先生的前同事并不認為他是一個精明的“間諜大師”。因為他為了并不多的現金就放棄了他略有些困難的職業生涯。據內部人士稱,A先生通過出售情報,從一家俄羅斯公司或俄羅斯情報機構獲得了大約 40,000 歐元。

ASML 和 恩智浦以前是間諜活動的受害者。ASML 不斷受到黑客的攻擊,必須保護自己免受“內部”盜竊。近年來,ASML和恩智浦都加強了其內部網絡的安全性。不同部門之間存在數字“墻”,因此員工只能查看有限數量的數據,并且內部監控系統會記錄可疑行為。

然而該系統的日志文件顯示,在 2020 年 12 月 16 日和 17 日,A先生下載了他工作根本不需要的文件。然而,當時系統沒有發出警報。

從以往違反制裁法的刑事案件來看,A先生有可能被判處 18 至 32 個月的監禁。檢察院希望通過此案樹立一個榜樣:荷蘭經濟高度依賴高科技公司,這些知識產線必須得到保護。


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