如果將芯片制造比作雕刻，那光刻機就是將雕刻線稿（電路圖）描繪在材料（晶圓表面）上的畫筆。它決定著芯片的工藝水平和性能，是制造半導體芯片的關鍵裝備。

近日，項目總投資約50億元的上海圖雙精密裝備項目落戶紹興市越城區，成為紹“芯”版圖上的又一塊新拼圖。項目計劃分兩期實施。一期計劃投資約5億元，一期占地面積35畝，用于轉移及擴大公司目前在上海的產能；二期計劃投資約45億元。兩期將實現年產50-100臺半導體設備的目標。項目正在建設中，預計2025年投產。

這家上海高新技術企業為何會將生產基地放在越城？上海圖雙董事長鐘敏道出了背后的原因。去年下半年，基于連年的業績增長，公司計劃在長三角地區籌建大型生產基地。經過幾次拜訪和對接，鐘敏被越城的滿滿誠意打動?！罢猩陶吆?，產業集聚性強，項目也有專人全流程服務，企業發展前景廣闊?！闭劶霸匠堑臓I商環境，鐘敏給予了很高評價。

經過多年的深耕細作，越城已集聚起近百家集成電路及相關規上企業，初步形成以特色工藝、先進封裝為核心的全產業鏈條，產值規模超500億元，穩居浙江省集成電路行業第一梯隊。眾多龍頭企業齊聚，用精湛的技藝和無盡的創造力，將硅片轉化為驅動未來的強大引擎。

光刻設備是發展集成電路產業的核心設備，卻一直處于“卡脖子”狀態。光刻機最先進的技術被荷蘭的ASML、日本的尼康、佳能三大國際大廠壟斷。尤其是最為先進的EUV光刻機，全世界僅有ASML一家能夠提供。目前，在光刻機領域，國內眾多集成電路生產企業仍需通過進口來滿足產業發展的需求。

此次成功引入的上海圖雙精密裝備項目，不僅能根據市場需求研發生產國產光刻機，也能對國外光刻機進行定制化改造、調試?！肮饪虣C比較精密，設備的裝調是相當重要的環節?！辩娒艚忉尩溃叩木芏纫笫窃斐晒饪虣C技術難以在短時間內取得突破的主要原因之一。以EUV光刻機為例，其零件數量超過45萬個，是一輛F1賽車的20倍以上。因而，光刻機從出廠，經船運或空運到達項目安裝地后，還需要幾個月的時間進行裝調。

目前，上海圖雙的技術能力和資源已覆蓋ASML、尼康、佳能三家公司的6寸、8寸、12寸光刻機，能按照不同的芯片產品特性及工藝進行設備再制造、技術匹配、工藝調試等定制化服務，從而更好地滿足本地集成電路產業的“芯”質生產，在持續提升芯片價值的同時降低制造成本，與“芯”友共同推動集成電路產業的崛起。

作為半導體產業“皇冠上的明珠”，光刻機的動態進展格外受到關注。對于朝著浙江集成電路“第一區”目標沖刺的越城而言，完善半導體設備產業也是答好時代“芯”命題的必然要求。隨著更多集成電路產業鏈核心項目的落地生根，越城的“芯”夢想愈發清晰。