| 基于阻抗匹配器的二極管幅-相檢測電路設計 | |
| 所屬分類：技術論文 | |
| 上傳者：zhoubin333 | |
| 文檔大?。?span>4706 K | |
| 標簽： 阻抗匹配 Urms 幅值-相位信號 | |
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| 文檔介紹：半導體芯片領域的競爭很大程度上取決于半導體裝備以及核心零部件的競爭，如射頻電源、阻抗匹配器等。設備的抗干擾能力以及穩定性等特性是衡量設備優劣的重要標準。對于阻抗匹配器而言，控制回路的精準、穩定以及快速響應是決定阻抗匹配器這款產品性能好壞的重要指標。因此，基于電容分壓采樣、電流互感器采樣以及運放電路等相關原理，設計了一款純硬件電路的阻抗幅值、相位檢測回路，并用仿真軟件ADS2021進行模擬仿真實驗，得到表征射頻電源和負載之間阻抗匹配程度的模擬量Urms。通過實驗測試表明，Urms越大表征射頻源與負載之間失配越嚴重，功率傳輸效率越低；Urms越小表征射頻源和負載之間的匹配程度越好，功率傳輸效率越高。同時，通過改變母線信號的輸入功率，得到Urms與輸入功率具有較高的線性相關性，因此該檢測回路具有很好的穩定性，能夠適用于寬范圍匹配器阻抗的幅值、相位檢測。 | |
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